ISO/DIS 19383

Indisponible en français

Projet

Projet de Norme internationale au stade enquête auprès des membres de l’ISO.

ISO/DIS 19383

CHF 65

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Résumé

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informations générales

État actuel
: Projet

Vous pouvez contribuer à l’élaboration de ce projet de Norme internationale en contactant le membre national

Stade
: Mise au vote du DIS: 12 semaines [40.20]
Edition
: 1
Comité technique :
ISO/TC 107

ICS :
25.220.01
RSS mises à jour