ISO 14606:2015
Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur par bombardement — Optimisation à l'aide de systèmes mono- ou multicouches comme matériaux de référence
Numéro de référence
ISO 14606:2015
Edition 2
2015-12
Annulée
ISO 14606:2015
63272
Annulée (Edition 2, 2015)

Résumé

ISO 14606:2015 gives guidance on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

ISO 14606:2015 is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Informations générales

  •  : Annulée
     : 2015-12
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  •  : 2
  • ISO/TC 201/SC 4
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

Vous avez une question?

Consulter notre FAQ

Service à la clientèle
+41 22 749 08 88

Horaires d’ouverture:
De lundi à vendredi - 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)