Norme internationale
ISO 21466:2019
Analyse par microfaisceaux — Méthode d’évaluation des dimensions critiques par CD-SEM
Numéro de référence
ISO 21466:2019
Edition 1
2019-12
© ISO 2024
Norme internationale
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Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2019)

ISO 21466:2019

Format
Langue
CHF 173
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Résumé

This document specifies the structure model with related parameters, file format and fitting procedure for characterizing critical dimension (CD) values for wafer and photomask by imaging with a critical dimension scanning electron microscope (CD-SEM) by the model-based library (MBL) method. The method is applicable to linewidth determination for specimen, such as, gate on wafer, photomask, single isolated or dense line feature pattern down to size of 10 nm.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2019-12
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS mises à jour

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