Resumen
ISO 17331:2004 specifies chemical methods for the collection of iron and/or nickel from the surface of silicon-wafer working reference materials by the vapour-phase decomposition method or the direct acid droplet decomposition method.
It applies to iron and/or nickel atomic surface densities from 6 times 10 to the power 9 atoms per square centimetre to 5 times 10 to the power 11 atoms per square centimetre.
Informaciones generales
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Estado: PublicadoFecha de publicación: 2004-05Etapa: Norma Internacional confirmada [90.93]
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Edición: 1Número de páginas: 18
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Comité Técnico :ISO/TC 201ICS :71.040.40
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Modificaciones
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Edición 2010
ISO 17331:2004/Amd 1:2010
51406
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18
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Ciclo de vida
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Ahora
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Preliminar
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Propuesta
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Comité
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Publicación
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Revisión
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Retirada
Modificaciones
Aportan contenido adicional; disponible para su compra; no incluidas en el texto de la norma existente.PublicadoISO 17331:2004/Amd 1:2010
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