Reference number
ISO 18114:2003
© ISO 2024
ISO 18114:2003
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
Edition 1
2003-04
Retirada
Retirada (Edición 1, 2003)

Resumen

ISO 18114:2003 specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Informaciones generales

  • Estado
     : Retirada
    Fecha de publicación
     : 2003-04
    Etapa
    : Retirada de la Norma Internacional [95.99]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 4
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS actualizaciones

Ciclo de vida

Objetivos de Desarrollo Sostenible

Esta norma contribuye al siguiente Objetivo de Desarrollo Sostenible

9
Industry, Innovation and Infrastructure

¿Tiene alguna duda?

Consulte nuestras Ayuda y asistencia

  2. Tienda
  3. Standards catalogue
  4. ICS
  5. 71
  6. 71.040
  7. 71.040.40
  8. ISO 18114:2003